FRT GmbH launches integrated metrology solution for microchip production

The fully automated metrology tool is designed for wafer measurement in advanced packaging

ID: 1543802
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(PresseBox) - FRT GmbH introduced the MicroProfand panels, thinned and bonded wafers, and film frames.

The MicroProf

photoresist coating and structuring,

Critical dimension (CD) and overlay

measurement through-silicon vias (TSVs) or trenches after etching,

isolation and barrier layer deposition,

TSV filling,

chemical mechanical polishing (CMP),

fabrication of redistribution layers (RDLs), under bump metallization (UBM), BGAs, micro and solder bumps,

temporary carrier bonding and debonding,

backside thinning,

reveal of TSV copper nails,dicing and stacking and

measurement of mold- and contact pad surfaces.

Furthermore it can be used for hybrid bonding and Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), included in consumer electronics, automotive, telecom, medical and industrial markets. MEMS are manufactured in processes similar to semiconductor production. The MicroProfautomated recipe to create new data that previously could not be measured.

The measurement system of the MicroProf

With a wafer handling system within an Equipment Front End Module (EFEM) and almost maintenance free hardware components, the MicroProf

The newest member of our MicroProf

FRT - Das Ma

Die FRT GmbH ist eines der weltweit f

Zudem bietet FRT kundennahe Dienstleistungen, so ergibt sich ein ganzheitliches Leistungsspektrum, das anwendungsspezifische L

Eine feste Gr

Mit Mikro- und Nanometeraufl

Messungen auf den Punkt gebracht

Erg

FRT zeigt in diesem Bereich innovative und einzigartige L



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FRT - Das Maß für PräzisionDie FRT GmbH ist eines der weltweit führenden Unternehmen im Bereich der 3D-Oberflächen¬messtechnik für Forschung und Produktion. FRT betätigt sich in der Entwicklung, der Fertigung sowie dem weltweiten Vertrieb von Messtechnik und Software für Oberflächenmetrologie.Zudem bietet FRT kundennahe Dienstleistungen, so ergibt sich ein ganzheitliches Leistungsspektrum, das anwendungsspezifische Lösungen schafft, mit höchster Kundenzufriedenheit.Eine feste Größe für MessgeräteMit Mikro- und Nanometerauflösung liefern die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme von FRT berührungslos und zerstörungsfrei, wahlweise vollautomatisch, Informationen über die Topogra¬phie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Schichtdicke und weitere Parameter.Messungen auf den Punkt gebrachtErgänzend zu den Messgeräten, entwickelt FRT eine spezialisierte Steuer- und Auswertesoftware. Sie berücksichtigt den aktuellen Bedarf des Kunden und ist auf den höchst möglichen Nutzen der Messgeräte ausgerichtet.FRT zeigt in diesem Bereich innovative und einzigartige Lösungen. In der Multi-Sensor-Technik verschmelzen unterschiedliche Messverfahren, die ansonsten nur über Einzellösungen realisierbar sind, zu einem universellen und platzsparenden Gerät. Die Kombination chromatischer Punktsensoren mit Flächensensoren ist problemlos durchführbar. Damit kann eine Vielzahl an Messaufgaben und ein Messbereich vom Meter bis zum Sub-Nanometer in einem flexiblen, jederzeit erweiterbaren und zukunftssicheren Gerät realisiert werden.

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Date: 11/09/2018 - 02:04
Language: English
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Firma: FRT GmbH
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Stadt: Bergisch Gladbach
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