DGAP-News: PVA TePla AG:Übernahme der JenaWave GmbH
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PVA TePla AG:Übernahme der JenaWave GmbH
26.04.2013 / 08:19
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(Wettenberg, 26. April 2013) - Die PVA TePla AG, Wettenberg, ein Produzent
von Anlagen für die industrielle Kristallzucht sowie von Plasma-, Vakuum-
und Wärmebehandlungsanlagen, unternimmt nach dem Erwerb der Munich
Metrology GmbH im letzten Jahr einen weiteren Schritt zur Stärkung ihres
Knowhows auf dem Gebiet der Metrologie für die Halbleiterindustrie. Mit
derÜbernahme der JenaWave GmbH, Jena, wird grundlegende Technologie für
den Bau von Analysesystemen ins eigene Haus geholt.
JenaWave entwickelt und baut die als Kernkomponenten anzusehenden optischen
Messköpfe inkl. der komplexen Auswertungs- und Steuerungs-Software für die
Analysesysteme vom Typ SIRD (=Scanning Infrared Depolarization) und TWIN
(Thermal Wave Inspection) aus dem Produktbereich Metrologie, der in
Kirchheim bei München ansässig ist. Mit den SIRD Systemen können
unerwünschte Scher-spannungen (Spannungen durch Verschiebungen in der
atomaren Gitterstruktur) in Silizium-Wafern, die durch
Hochtemperaturprozesse während der Herstellung von Halbleiterprodukten
entstehen können, detektiert werden. Die TWIN Systemeüberwachen die
Gleichmäßigkeit von Ionen-Implantations-Prozessen. Derartige
Metrologiesysteme werden an alle renommierten Silizium Wafer-Hersteller und
zahl-reiche ihrer Kunden weltweit geliefert und werden dort genutzt, um
komplexe Ferti-gungsschritte in der Wafer- und Halbleiterfertigung zuüberwachen. Des Weiteren entwickelt und fertigt die JenaWave das
polarisationsoptische Messmikroskop SIREX (=Scanning Infrared Reflection
EXamination), das der Scherspannungsvisualisierung insbesondere für die
Entwicklung von 3D-IC und MEMS dient.
Mit derÜbernahme von JenaWave erhöht die PVA TePla die Fertigungstiefe und
erwirbt wichtiges Knowhow hinsichtlich der in den Messköpfen verwendeten
Laser-optik. Zudem werden durch die Integration des Unternehmens in den
eigenen Standort Jena produktionsseitig bedeutsame Synergieeffekte erzielt.
Die entsprechenden Inspektionssysteme, in denen die Messkerne verbaut
werden, können u.a. auf der folgenden Webseite
http://www.pvateplaamerica.com/semi_stressimaging.php aufgerufen werden.
Weitere Informationen erhalten Sie bei:
Dr. Gert Fisahn
Investor Relations
PVA TePla AG
Phone: +49(0)641/68690-400
gert.fisahn(at)pvatepla.com
www.pvatepla.com
Ende der Corporate News
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Im Westpark 10-12
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Telefon: 0641/686900
Fax: 0641/68690800
E-Mail: info(at)pvatepla.com
Internet: www.pvatepla.com
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