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DGAP-News: SINGULUS TECHNOLOGIES stellt neue Vakuum-Beschichtungsanlage ROTARIS vor

ID: 768071


(businesspress24) - DGAP-News: SINGULUS TECHNOLOGIES AG / Schlagwort(e): Produkteinführung
SINGULUS TECHNOLOGIES stellt neue Vakuum-Beschichtungsanlage ROTARIS
vor

22.11.2012 / 07:30

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SINGULUS TECHNOLOGIES stellt neue Vakuum-Beschichtungsanlage ROTARIS vor
- Für F&E-Anwendungen im Halbleitermarkt

- Eine Maschine bereits verkauft

Kahl am Main, 22.11.2012 - SINGULUS TECHNOLOGIES (SINGULUS) führt eine neue
Beschichtungsanlage mit dem Produktnamen ROTARIS in den Markt ein. Die
ROTARIS wird im Dezember 2012 auf der Fachmesse Semicon in Japan
vorgestellt und wurde speziell für die angewandte Entwicklung in der
Halbleitertechnik entwickelt. ROTARIS ist eine modular aufgebaute
Maschinenplattform für präzise Beschichtungen im Ultrahoch-Vakuum (bis 10-8
mbar). Die neue Anlage trifft damit die Nachfrage zahlreicher
Forschungsinstitute in der Halbleiterindustrie, die modular aufgebaute
Entwicklungsplattformen benötigen, um die MRAM Speichertechnologie zur
Marktreife weiterzuentwickeln. Mit der neuen Vakuum-Beschichtungsanlage,
die nach dem Prinzip der Kathoden-zerstäubung arbeitet, stärkt SINGULUS
seine Marktstellung als Hersteller und Entwicklungspartner für innovative
Beschichtungs-technologien für MRAM Wafer, Dünnschicht-Schreib-/Leseköpfe
und weitere Halbleiter-Anwendungen und baut die führende Position in diesem
Marktsegment weiter aus.

Die neue ROTARIS Anlage basiert auf dem TIMARIS 'Rotating Substrate Module'
und ist dadurch für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen prädestiniert.
Eine erste Maschine wurde bereits im ersten Halbjahr 2012 verkauft.

SINGULUS hat bereits die zweite Generation des TIMARIS PVD Cluster Tools im
Markt etabliert und bietet ein komplettes Portfolio von Produktions-modulen
für ein breites Spektrum an Halbleiter-Anwendungen an. Aktuell sind sieben




Prozessmodule verfügbar, mit denen die TIMARIS Plattform exakt gemäßden
Kundenansprüchen konfiguriert werden kann.

'Unsere Vakuum-Beschichtungsanlagen sind immer mehr die Basis für die
Entwicklung neuer Anwendungen in der Halbleitertechnik. Als führender
Anbieter von Vakuum-Beschichtungsanlagen für MRAM Wafer, Schreib-/Leseköpfe
und neue Halbleiteranwendungen sehen wir uns in einer hervorragenden
Ausgangsposition für diesen Wachstumsmarkt', kommentiert Dr. Stefan Rinck,
CEO der SINGULUS TECHNOLOGIES AG.

Hintergrund SINGULUS TECHNOLOGIES:
SINGULUS TECHNOLOGIES ist Marktführer im Segment Optical Disc für CD, DVD
und Blu-ray Disc Produktionsanlagen. Im Segment Solar hat SINGULUS das
Ziel, sich in der Silizium- und Dünnschicht-Solartechnik an führender
Stelle als Maschinenlieferant sowie Entwicklungspartner und Lieferant von
Produktionsmaschinen für neue Zellkonzepte zu positionieren. Bei
Herstellverfahren für CIGS/CIS Dünnschicht-Solarzellen ist SINGULUS in
führender Position.
Die Aktivitäten im Geschäftsbereich Halbleiter für
Vakuum-Beschichtungs-anlagen werden intensiv verstärkt für
Anwendungsgebiete wie MRAM, Sensoren und Schreib-/Leseköpfe. Weitere
Anwendungsgebiete der Vakuum-Beschichtungstechnik stehen im Fokus der
zukünftigen Entwicklung.



Kontakt:
SINGULUS TECHNOLOGIES AG, Hanauer Landstraße 103,
D-63796 Kahl/Main, ISIN: DE0007238909, WKN: 723890

Kontakt:
Maren Schuster, Investor Relations,
Tel.: + 49 (0) 6188 440 612,
Bernhard Krause, Unternehmenssprecher,
Tel.: + 49 (0) 6181 98280 20 / +49 (0) 170 9202924


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Sprache: Deutsch
Unternehmen: SINGULUS TECHNOLOGIES AG
Hanauer Landstrasse 103
63796 Kahl am Main
Deutschland
Telefon: +49 (0)1709202924
Fax: +49 (0)6188 440-110
E-Mail: bernhard.krause(at)go-metacom.de
Internet: www.singulus.de
ISIN: DE0007238909
WKN: 723890
Börsen: Regulierter Markt in Frankfurt (Prime Standard);
Freiverkehr in Berlin, Düsseldorf, Hamburg, München,
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