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Hohe Betriebssicherheit bei ALD-Beschichtung durch neueste Schrauben-Vakuumtechnologie

ID: 1539286

Die Inficon AG produziert in ihrem Werk in Balzers/Liechtenstein Messgeräte und Sensoren für die Druckmessung sowie Komponenten für den Hochvakuumbereich. In diesen sind Teile verbaut, die im ALD-Verfahren (Atomic Layer Deposition) beschichtet werden. Die Vakuumversorgung aller ALD-Beschichtungsanlagen erfolgt ausschließlich durch COBRA DS Schrauben-Vakuumpumpen der Firma Busch. Mit diesen Vakuumpumpen hat Inficon die besten Erfahrungen in punkto Betriebssicherheit und Standzeit gemacht.


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Der ALD-Prozess

Der ALD-Beschichtungsprozess l

Mit der Inbetriebnahme des neuen Reinraums mit ALD-Beschichtungsanlagen haben sich Projektleiter Philip Spring und CTO Urs W fand direkt bei Inficon in Balzers statt. Zu einem zweiten Workshop hat Busch dann in sein Produktionswerk Ateliers Busch S.A. in Chevenez im Schweizer Kanton Jura eingeladen.
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Nach mehreren Monaten Dauerbetrieb der ersten COBRA DS wurde eine Inspektion durchgef

Inzwischen sind bei Inficon in Balzers vier ALD-Beschichtungsanlagen mit jeweils einer COBRA DS 2000 G ausgestattet. Mehrere COBRA DS gleicher Baugr



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Unternehmensinformation / Kurzprofil:

Busch Vakuumpumpen und Systeme ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen und Kompressoren.
Das umfangreiche Produktportfolio umfasst Lösungen für Vakuum- und Überdruckanwendungen in sämtlichen Industriebereichen, wie zum Beispiel für die Chemie, Halbleiterindustrie, Medizintechnik, Kunststoffindustrie oder die Lebensmittelbranche. Dazu gehören auch die Konzeption und der Bau von individuell ausgelegten Vakuumsystemen sowie ein weltweites Servicenetz.
Die Busch Gruppe ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Weltweit arbeiten 3.000 Mitarbeiter in über 60 Gesellschaften in mehr als 40 Ländern für Busch Vakuumpumpen und Systeme. Hauptsitz von Busch ist Maulburg im Südwesten Deutschlands. Hier befindet sich der Sitz der Busch SE sowie das deutsche Produktionswerk und die deutsche Vertriebsgesellschaft. Außer in Maulburg produziert Busch in eigenen Fertigungswerken in der Schweiz, in Großbritannien, Tschechien, Korea und den USA.

Busch Vakuumpumpen und Systeme wurde 1963 von Dr.-Ing. Karl Busch und seiner Frau Ayhan Busch gegründet und gemeinsam aufgebaut. Mit der „Huckepack“ entwickelte Dr.-Ing. Karl Busch die erste Vakuumpumpe zur Verpackung von Lebensmitteln. Das Folgeprodukt „R 5“, eine kompakte Drehschieber-Vakuumpumpe, revolutionierte die Lebensmittelverpackung. Einen weiteren Meilenstein stellte die Entwicklung der Schrauben-Vakuumpumpe „COBRA“ dar. Die internationale Expansion der Busch Gruppe begann bereits im Jahre 1971 mit der Gründung einer Vertriebsgesellschaft in Großbritannien. Das erste Fertigungswerk im Ausland entstand 1979 in den USA.



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PresseKontakt / Agentur:

Jasmin Markanic

Busch Vacuum Pumps and Systems
Global Marketing / Marketing Services
Coordinator Global Press & Media Relations

Schauinslandstraße 1
DE 79689 Maulburg
Phone: +49 7622 681 3376
Jasmin.Markanic(at)busch.de
www.buschvacuum.com



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Bereitgestellt von Benutzer: SabrinaHeinecke
Datum: 12.09.2019 - 02:48 Uhr
Sprache: Deutsch
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Kontakt-Informationen:
Ansprechpartner: Jasmin Markanic
Stadt:

Maulburg


Telefon: +4976226813376

Kategorie:

Industrietechnik


Meldungsart: Erfolgsprojekt
Versandart: Veröffentlichung
Freigabedatum: 12.09.2019
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