Innovative Nanotech Inc., ein Unternehmen mit Investitionen von Chroma ATE, entwickelt durch Technologietransfer von ITRI Halbleiter Frontend-Prozesskontrolle
(ots) - Innovative Nanotech Inc., ein
Unternehmen mit Investitionen von Chroma ATE Inc., unterzeichnete am
24. November einen Vertrag mit dem Industrial Technology Research
Institute (ITRI) zum Transfer der "Nanoparticles Monitoring
Technology", einer Kontrolltechnologie für Nanopartikel. Darüber
hinaus wird ITRI als wichtiger Anteilsinhaber von Innovative Nanotech
fungieren. Erst kürzlich schloss Innovative Nanotech einen Vertrag
mit dem Hsinchu Science Park zur Entwicklung und Schaffung von
Kontrollsystemen für Nanopartikel in Flüssigkeiten ab. Derartige
Systeme werden bei der Halbleiterherstellung verwendet, damit sich
deren Ertragsrate verbessern wird.
Große Mengen von wässrigen Lösungen zum Säubern, Schleifen und
Beizen der Wafer-Oberfläche werden oft während des
Herstellungsprozesses von Halbleitern verwendet. Befinden sich
Unreinheiten in dieser Lösung, erhöht sich die Fehlerquote. Die
aktuelle Streulichtmessungstechnologie kann die Größe und Menge von
Lösungsteichen unter 20 nm nicht präzise erfassen, was die Kontrolle
des Herstellungsprozesses erschwert. Mit der Weiterentwicklung von 20
nm auf 10 nm oder auf bis zu 7 nm wurde dieser Pfad mithilfe
minimierter Transistoren bereits weiter verkleinert. Wenn sich also
Verunreinigungen wie Nanopartikel in der Lösung befinden,
beeinträchtigt dies die fehlerfreie Quote des Produkts.
Innovative Nanotech wird die Halbleiterhersteller eine neue
Generation eines Nanopartikelkontrollsystems ("SuperSizer"), das die
Größe und Menge von Partikeln über 5 nm genau erfassen wird,
vorstellen. So können die Hersteller notwendige Maßnahmen ergreifen
und den Herstellungsprozess anhand der Kontrollergebnisse verbessern.
Die Technik kann nicht nur für den Herstellungsprozess von
Halbleitern, sondern auch in den Bereichen Elektronik, Optoelektronik
und biomedizinische Materialien verwendet werden.
Innovative Nanotech wird durch die Integration der Vertriebs- und
Marketingkanäle der Chroma Group in dem Weltmarkt expandieren. Chroma
ATE Inc. ist ein weltweit führender Lieferant von automatisierten
Testsystemen, intelligenten Fertigungssystemen sowie
schlüsselfertigen Prüf- und Automationslösungen und bietet
verschiedene Produktreihen zur Backend-Präzisionsmessung im Bereich
der Halbleitertestung an. Innovative Nanotech wird der Anbieter von
Frontend-Prozessprüflösungen für Chroma, um die die Testanforderungen
des kompletten Halbleiterherstellungsprozesses zu erfüllen.
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Pressekontakt:
Corporate Marketing-Abteilung
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Datum: 24.11.2017 - 01:00 Uhr
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